Kremíkový mikroelektronický plátok

Kremíkový mikroelektronický plátok

Tento rad kremíkových substrátov je starostlivo navrhnutý tak, aby poskytoval dokonalý fyzický a elektrický základaplikačné -integrované obvody (ASIC)a diskrétne energetické zariadenia. Pokrývajúce celé spektrum od2-palcové (50 mm) až 12-palcové (300 mm)Naša materiálová architektúra sa zameriava na elimináciu podpovrchového poškodenia a mriežkových nepravidelností, čím zaisťuje, že plátok pôsobí ako nedotknutý hostiteľ počas vysokoenergetickej implantácie iónov a viac{1}}vrstvového epitaxného rastu.

Hlavné technické výhody:

Tepelná-mechanická odolnosť:Navrhnuté tak, aby prežili aj tých najtrestanejšíchtepelné rozpočtytieto substráty si zachovávajú svoju štrukturálnu integritu a plochosť prostredníctvom opakovaných cyklov vysokoteplotnej oxidácie{0}} a rýchleho tepelného žíhania (RTA). Táto pružnosť zabraňuje skĺznutiu mriežky a deformácii, čím zaisťuje sub-presnosť zarovnania pod mikrónmi pre logiku s vysokou-hustotou aPower IC (IGBT/MOSFET)zhotovenie.

Pokročilá morfológia povrchu:Každá oblátka podlieha patentovaniuChemická-mechanická planarizácia (CMP)na dosiahnutie ultra-nízkej drsnosti povrchu a optimalizovanej hydrofóbnosti. Táto vynikajúca morfológia umožňuje širšie procesné okno pre fotolitografiu, čo umožňuje vytváranie kritických prvkov s vysokou presnosťou a zníženou interferenciou okrajov-guľôčok.

Strategická dávková synchronizácia:Aby sme podporili nepretržité výrobné potreby globálnych zlievarní, implementujemevysoko presná dopingová kontrolaa riadenie prahu kyslík/uhlík. Táto synchronizácia zaisťuje, že profily odporu zostanú rovnaké vo viacerých výrobných sériách, priamo sa prenášajú na stabilizované prahové napätia a zvyšujúwafer-úroveň výnosu (WLY)pre priemyselnú a automobilovú-elektroniku.

Populárne Tagy: kremíkový mikroelektronický plátok, Čína výrobcovia kremíkových mikroelektronických plátkov, dodávatelia, továreň