Silikónový výrobný disk

Silikónový výrobný disk

Tento kremíkový výrobný disk je precízne navrhnutý tak, aby poskytoval platformu s vysokou{0}}integritoukontrolované výrobné krokyv pokročilých polovodičových prostrediach. Podporuje celý rozsah priemerov od2-palcové (50 mm) až 12-palcové (300 mm), sú tieto disky navrhnuté tak, aby fungovali ako stabilné rozhranie bez kontaminácie-, ktoré zachováva absolútnu štrukturálnu súdržnosť počas komplexnej integrácie zariadení.

Stabilná automatizovaná manipulácia:Každý disk je optimalizovaný prestabilná manipulácia pri automatizovanom spracovanís vysoko{0}}presným profilovaním hrán a kontrolovaným povrchovým trením. Táto konštrukčná spoľahlivosť zaisťuje bezproblémovú integráciu s robotickými koncovými-efektormi a systémami vákuového upínania, čím sa minimalizujú mechanické vibrácie a prestoje vo vysokovýkonných zlievarniach-.

Presnosť{0}}požadovaná rozmerová presnosť:Zachovaním sub{0}}mikrónových tolerancií pre odchýlku celkovej hrúbky (TTV) a deformáciu tento disk výraznezlepšuje presnosť výroby. Extrémna rozmerová presnosť umožňuje konzistentné okraje zaostrenia počas fotolitografie, čo priamo súvisí s rovnomernejšou hĺbkou leptania a vylepšenou-výťažnosťou plátku.

Odolnosť cyklického spracovania:Navrhnuté na udržanie jehokonzistencia počas celej výroby, kotúč má vynikajúcu termomechanickú odolnosť. Táto odolnosť umožňuje materiálu odolávaťopakované cykly spracovaniavrátane viacerých{0}}vysokoteplotných vákuových žíhaní a chemickej{1}}mechanickej planarizácie (CMP), ktoré zaisťujú stabilný výkon zariadenia vo všetkých dávkach.

Populárne Tagy: disk na výrobu kremíka, výrobcovia kremíkových diskov v Číne, dodávatelia, továreň