Kremíkový okrúhly plátok

Kremíkový okrúhly plátok

Tento rad silikónových okrúhlych plátkov je starostlivo navrhnutý tak, aby poskytoval nekompromisný výkonstabilná geometriapotrebné pre bezproblémovéautomatizovaná manipuláciav pokročilých zlievarenských prostrediach. Optimalizované pre celé spektrum priemerov od2-palcové (50 mm) až 12-palcové (300 mm), tieto substráty sú navrhnuté s vysoko{0}}presným profilovaním hrán, aby sa zaistilo konzistentné mechanické zapojenie počas vysokorýchlostných robotických presunov{1}} a sekvencií vákuového upínania.

Kompatibilita vybavenia-poháňaného presnosťou:Každá oblátka sa riadi pevnými toleranciami prepresné zaobleniea konzistencia priemeru, čo výrazne zlepšuje kompatibilitu so staršími 200 mm nástrojmi a pokročilými 300 mm automatizovanými klastrami. Striktným dodržiavaním medzinárodných noriem SEMI pre rozmery zárezov a plochých rozmerov substrát umožňuje takmer okamžitú kalibráciu nástroja, čím sa skracuje mechanický prestoj.

Zjednodušený tok spracovania:Vynikajúca rozmerová stabilita podložiek plátku ahladký priebeh spracovaniacez najintenzívnejšie fázy výroby. Minimalizáciou excentricity ťažiska substrát znižuje rotačné vibrácie počas-odstreďovania s vysokými otáčkami za minútu a chemickej{4}}mechanickej planarizácie (CMP), čím zabezpečuje rovnomernú hrúbku filmu na celom povrchu.

Minimálne narušenie zarovnania: Konzistentné rozmerysú rozhodujúce pre zmenšenie priestoruproblémy so zarovnanímpočas viac{0}}vrstvovej fotolitografie. Stabilný tvarový faktor plátku zaisťuje, že značky globálneho zarovnania zostanú v dosahu snímania pokročilých skenerov, čo priamo súvisí so zvýšenímwafer-úroveň výnosu (WLY)pre vysokú-hustotuPower IC a logikazariadení vo veľkom-meradlepriemyselné výrobné linky.

Populárne Tagy: kremíková okrúhla doska, Čína výrobcovia kremíkových okrúhlych doštičiek, dodávatelia, továreň