Technológia prípravy substrátu z karbidu kremíka

Technológie prípravy substrátu z karbidu kremíka zahŕňajú metódu PVT (metóda fyzického transportu pár), metódu roztoku a metódu chemickej depozície pri vysokej teplote. V súčasnosti komerčný rast monokryštálov karbidu kremíka využíva metódu PVT. Substrát karbidu kremíka používa vysoko čistý uhlíkový prášok a vysoko čistý kremíkový prášok ako suroviny na syntézu prášku karbidu kremíka. V špeciálnom teplotnom poli sa metóda zrelého fyzického prenosu pár (metóda PVT) používa na pestovanie ingotov karbidu kremíka rôznych veľkostí a na ich elektrostatické spracovanie. , rezanie krištáľových ingotov, brúsenie plátkov, leštenie a čistenie atď. sa vyrábajú pomocou viacerých postupov spracovania.